New COSMOS
电化学式侦测器
- 定电位电解 / 热线半导体 / 隔膜电池式 固定式气体侦测器 PS-7
- 可对应多种半导体厂之可燃性、毒性气体
- Sensor安装后即可使用；无须用校正气体校正
- Sensor及进/排气管可徒手更换，不需使用任何工具
- 气体浓度、警报、故障讯息直接于萤幕显示，易于判读
- 体积小重量轻
- 反应速度快
- 搭配裂解器使用时可侦测NF3等气体
化学试纸带
手提式侦测器CLPX
开机速度快，功能检测完后即可侦测
内建气体资料，安装纸带后，选择气体，即可侦测不同气体
内建警报、浓度CSV纪录档 / 轻巧方便使用
可长达10小时的电池使用时间(依电池使用及充电时间而定)
可选购加热模组，量测NF3, C5F8, C4F6 等气体
傅立叶转换红外光谱分析器 FT-IR
FACE-MPS200
具备自动定性定量功能(选配) / 使用内建标准定量光谱, 不需进行校正 / 自动分析, 无须人为操作 / 光谱解析度：1cm-1 / 可同时分析多种成分 / 具有48埠取样点 / 光谱仪10年无常态性更换耗材, 全系统无常态须更换耗材 / 非破坏性分析, 无分析耗材 / FTIR本地维护保养能力
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