化學色帶式偵測器
手提式偵測器
化學試紙帶
手提式偵測器CLPX
開機速度快，功能檢測完後即可偵測
內建氣體資料，安裝紙帶後，選擇氣體，即可偵測不同氣體
內建警報、濃度CSV紀錄檔 / 輕巧方便使用
可長達10小時的電池使用時間(依電池使用及充電時間而定)
可選購加熱模組，量測NF3, C5F8, C4F6 等氣體
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化學試紙帶
手提式偵測器CLPX
開機速度快，功能檢測完後即可偵測
內建氣體資料，安裝紙帶後，選擇氣體，即可偵測不同氣體
內建警報、濃度CSV紀錄檔 / 輕巧方便使用
可長達10小時的電池使用時間(依電池使用及充電時間而定)
可選購加熱模組，量測NF3, C5F8, C4F6 等氣體
New COSMOS 電化學式偵測器
New COSMOS
電化學式偵測器
定電位電解 / 熱線半導體 / 隔膜電池式 固定式氣體偵測器 PS-7
可對應多種半導體廠之可燃性、毒性氣體
Sensor安裝後即可使用；無須用校正氣體校正
Sensor及進/排氣管可徒手更換，不需使用任何工具
氣體濃度、警報、故障訊息直接於螢幕顯示，易於判讀
體積小重量輕 / 反應速度快 / 搭配裂解器使用時可偵測NF3等氣體
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New COSMOS
電化學式偵測器
定電位電解 / 熱線半導體 / 隔膜電池式 固定式氣體偵測器 PS-7
可對應多種半導體廠之可燃性、毒性氣體
Sensor安裝後即可使用；無須用校正氣體校正
Sensor及進/排氣管可徒手更換，不需使用任何工具
氣體濃度、警報、故障訊息直接於螢幕顯示，易於判讀
體積小重量輕 / 反應速度快 / 搭配裂解器使用時可偵測NF3等氣體
傅立葉轉換紅外光譜分析器 FT-IR
傅立葉轉換紅外光譜分析器 FT-IR
FACE-MPS200
具備自動定性定量功能(選配) / 使用內建標準定量光譜, 不需進行校正 / 自動分析, 無須人為操作 / 光譜解析度：1cm-1 / 可同時分析多種成分 / 具有48埠取樣點 / 光譜儀10年無常態性更換耗材, 全系統無常態須更換耗材 / 非破壞性分析, 無分析耗材 / FTIR本地維護保養能力
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傅立葉轉換紅外光譜分析器 FT-IR
FACE-MPS200
具備自動定性定量功能(選配) / 使用內建標準定量光譜, 不需進行校正 / 自動分析, 無須人為操作 / 光譜解析度：1cm-1 / 可同時分析多種成分 / 具有48埠取樣點 / 光譜儀10年無常態性更換耗材, 全系統無常態須更換耗材 / 非破壞性分析, 無分析耗材 / FTIR本地維護保養能力
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