開機速度快,功能檢測完後即可偵測
內建氣體資料,安裝紙帶後,選擇氣體,即可偵測不同氣體
內建警報、濃度CSV紀錄檔 / 輕巧方便使用
可長達10小時的電池使用時間(依電池使用及充電時間而定)
可選購加熱模組,量測NF3, C5F8, C4F6 等氣體
定電位電解 / 熱線半導體 / 隔膜電池式 固定式氣體偵測器 PS-7
可對應多種半導體廠之可燃性、毒性氣體
Sensor安裝後即可使用;無須用校正氣體校正
Sensor及進/排氣管可徒手更換,不需使用任何工具
氣體濃度、警報、故障訊息直接於螢幕顯示,易於判讀
體積小重量輕 / 反應速度快 / 搭配裂解器使用時可偵測NF3等氣體